[发明专利]照明样品的光学照明装置、照明和分析样品的光学分析装置及其运行方法

摘要

本发明提供一种用于照明样品（4）的光学照明装置（1），包括：激光光源（2）；偏转镜（3），其能由激光光源（2）来照射且能绕着至少一个轴旋转；光学聚焦元件（FE），其布置在激光光源（2）与偏转镜（3）之间；载体（5），其具有波长转换层（6），其布置为使得激光能由偏转镜（3）偏转到波长转换层（6）上，其中载体（5）对于激光（L）和/或对于由波长转换层（6）予以波长转换的光（LK）能透过，其中激光能由激光光源（2）通过光学聚焦元件（FE）经由偏转镜（3）聚焦到波长转换层（6）上；和投影光学系统（7），借助其，予以波长转换的光（LK）能在样品（4）上被集束在投影光学系统（7）的聚焦点。