[发明专利]一种真空蒸镀系统及真空蒸镀方法有效
| 申请号： | 202010429257.4 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN111549319B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 梁丰;牛晶华;戴铭志;李巍 | 申请（专利权）人： | 武汉天马微电子有限公司;武汉天马微电子有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人： | 于淼 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开一种真空蒸镀系统及真空蒸镀方法，涉及蒸镀领域，包括：移动载台，移动载台上设置有M个蒸发源和M个角度限制单元，角度限制单元包括第一开口，蒸镀材料的蒸镀范围由第一开口限定；信号发射单元向蒸镀范围内发射第一红外信号，第一红外信号经过蒸镀材料后形成第二红外信号；信号探测单元接收第二红外信号，通过第二红外信号分析蒸镀范围内所包含的蒸镀材料；当蒸镀范围内包含N种蒸镀材料时，第一驱动单元驱动角度限制单元运动，调节蒸镀范围，其中N为小于M的整数。本申请通过第一驱动单元驱动角度限制单元运动，调节各种蒸镀材料的蒸镀范围，使得多种蒸镀材料在蒸镀面上完全重合，避免出现超薄层，从而提高器件性能和产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 系统 方法 | ||
【主权项】：
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