[发明专利]晶棒固定治具有效
| 申请号： | 202010429859.X | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN112440399B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 朱酉致;徐国振;黄成帆;何清崇;吴翰宗 | 申请（专利权）人： | 环球晶圆股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04;B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张娜;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶棒固定治具，能够将晶棒良好地固定于固定板组件上。晶棒固定治具包括基台、可转动底座、偏角调整组件以及顶定位组件。可转动底座可旋转地设置于基台上。固定板组件定位于可转动底座上。偏角调整组件可伸缩地设置于基台。偏角调整组件适于推拉可转动底座，以使可转动底座相对于基台转动。顶定位组件可移动地设置于可转动底座上方，以靠近或远离可转动底座。晶棒放置在位于可转动底座上的固定板组件上。晶棒的延伸方向与固定板组件的长边延伸方向夹有角度。晶棒位于可转动底座与顶定位组件之间并受顶定位组件向下推抵而紧密接触固定板组件。本发明的晶棒固定治具能够将晶棒良好地固定于固定板组件上。 | ||
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