[发明专利]一种等离子体脉冲电源

摘要

本发明提供一种等离子体脉冲电源，输入电压Vin经DC/DC变换器转换为中间级母线电压Vm，所述中间级母线电压Vm同时作为第一脉冲电流源和第二脉冲电流源的输入端，用于产生两路具备相位关系的脉冲电流输出，其中，所述第一脉冲电流源中，由控制信号PWMA经过滤波电路转换为直流电平信号，并以该直流电平信号作为电流基准信号实现闭环控制；所述第二脉冲电流源为高压脉冲电流源，通过电感L进行瞬态功率储能，控制信号PWMB的脉冲宽度用于调整对应该高压脉冲电流源的峰值和能量。本发明实现了两路脉冲电源，能够有效减小系统电容的容值，整体结构简单有效，在此基础上，还设计了多个延时电路以实现内部时序控制，具备时序调节功能。