[发明专利]双列并行CCD传感器及使用传感器的检验系统有效

专利信息
申请号: 202010430345.6 申请日: 2017-04-05
公开(公告)号: CN111564462B 公开(公告)日: 2021-07-16
发明(设计)人: 勇-霍·亚历克斯·庄;张璟璟;S·察梅克;约翰·费尔登;德维斯·孔塔拉托;戴维·L·布朗 申请(专利权)人: 科磊股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H01L27/148;H04N5/361;H04N5/372;H04N5/3722;H04N5/3725;H04N5/378;G06T7/00;G01N21/956;G01N21/95;H01L29/768
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 刘丽楠
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本申请实施例涉及双列并行CCD传感器及使用传感器的检验系统。一种双列并行图像CCD传感器利用双列并行读出电路,所述双列并行读出电路包含两对交叉连接的转移门以在高速度下以低噪声将像素数据(电荷)从一对邻近像素列交替地转移到共享输出电路。沿着所述两个邻近像素列以线时钟速率转移的电荷通过所述转移门交替地传递到求和门,所述求和门以所述线时钟速率的两倍的速率操作以将所述图像电荷传递到所述共享输出电路。在一个实施例中,利用对称Y形扩散部来合并来自所述两个像素列的所述图像电荷。本发明也描述一种用线时钟同步来驱动所述双列并行CCD传感器的方法。本发明也描述一种使用所述双列并行CCD传感器来检验样本的方法。
搜索关键词: 并行 ccd 传感器 使用 检验 系统
【主权项】:
暂无信息
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