[发明专利]基于双环路探测的多通道光程差检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 202010430385.0 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN111707447B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 孙鑫鹏;史俊锋;李晔;蒋广通;王彤璐;杨振;张志强;李川;杨宁;罗媛;李建婷;徐林;陈园园;臧彦楠;白海滨;李朝阳 | 申请（专利权）人： | 中国兵器装备研究院 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京金咨知识产权代理有限公司 11612 | 代理人： | 秦景芳 |
| 地址： | 102209 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于双环路探测的多通道光程差检测装置及检测方法，所述装置包括连接合成分路器的脉冲激光器和连续激光器，合成分路器依次连接多通道光程调节器、多通道选通器、待测设备、准直发射器、聚焦镜和激光分路器，激光分路器一方面连接激光成像器和图像处理器以进行基于连续干涉图像的连续环路光程差检测，一方面连接激光探测器和脉冲信号处理器以进行基于皮秒脉冲的脉冲环路光程差检测；控制器控制所述装置并基于连续环路光程数据和脉冲环路光程差解算待测设备中两个待测通道之间光程差的检测值。本发明构成的双环路相互参照和优化测量结果，实现多通道激光设备中各单元激光通道之间光程差的高精度数字化检测，检测精度可达亚毫米量级。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 环路 探测 通道 光程 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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