[发明专利]一种扭转角度可控的单层石墨烯折叠结构制备方法

摘要

本发明涉及一种扭转角度可控的单层石墨烯折叠结构制备方法，首先，将SiO2/Si基底上的单层石墨烯样本放置于高湿度，使石墨烯与基底间形成界面水；随后取出样本并放置于装有湿度传感腔的AFM样本台，使用微球探针，在常湿度下将探针定位到单层石墨烯尖角形轮廓附近位置；提高AFM湿度腔湿度，在定位点下针并保持，以在针‑样间形成稳定的弯月面；随后设置探针运动方向和速度，使针尖以恒速缓慢在石墨烯表面移动至预定位置后抬针，即可得到扭转角度可控的石墨烯折叠结构。本发明工艺流程简单，无需严苛操作环境便能实现单层石墨烯的可控折叠，并且可以灵活、精确的控制扭转角度，为石墨烯在光电子器件、量子器件的应用奠定基础。