[发明专利]一种表面等离激元增强的分子器件气体传感器

摘要

本发明提供了一种表面等离激元增强的分子器件气体传感器，在有机分子下面设置金属氧化物部、在金属氧化物部和有机分子上面设置贵金属颗粒。在氧气环境中和激光或其他光源照射下，金属氧化物部的上表面附近有更多的氧分子变为氧负离子，有机分子处于该氧负离子环境中；在待测气体分子环境中和激光或其他光源照射下，待测气体分子与氧负离子反应与结合，有机分子处于中性环境中。相对于仅仅使用金属氧化物部，有机分子周围的环境发生了更多的变化，源极与漏极之间的电导发生了更多的变化，根据电导的差值实现气体分子的高灵敏度检测。由于有机分子的活化能对周围的环境非常敏感，所以本发明具有灵敏度高的优点。