[发明专利]一种干涉显微成像方法及干涉显微镜在审
申请号: | 202010431543.4 | 申请日: | 2020-05-20 |
公开(公告)号: | CN111474141A | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 杜凯;李俊;王金玉;尹韶云;熊亮;邹钱生;王浩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
主分类号: | G01N21/45 | 分类号: | G01N21/45;G01N21/01 |
代理公司: | 北京元本知识产权代理事务所(普通合伙) 11308 | 代理人: | 王美兰 |
地址: | 400714 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明提供一种干涉显微成像方法及干涉显微镜,具体地,一种干涉显微镜,包括光源发生装置、补偿干涉腔,探测臂、信号采集与处理单元;补偿干涉腔接收光源发生装置产生的光束并进行反射后成为反射光束进入所述探测臂;所述探测臂对所述反射光束进行聚焦形成样品光,并将样品光发送给所述信号采集与处理单元;其中,所述探测单元设有第二显微物镜,所述第二显微物镜用于将光聚焦于样品上并将所述样品的结构信息调制成光线返回。该干涉显微镜,通过在补偿干涉腔中插入第一显微物镜,使参考光与样品光均经过完全相同的显微物镜只是顺序不一样,保证样品光和参考光的光程完全相等,避免了因经过光学器件的不一致导致的干涉面上有些点不等光程。 | ||
搜索关键词: | 一种 干涉 显微 成像 方法 干涉显微镜 | ||
【主权项】:
暂无信息
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