[发明专利]一种柔性FBAR滤波器的制造方法有效
| 申请号： | 202010432855.7 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN111682101B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 李国强;衣新燕;刘鑫尧;张铁林;赵利帅;刘红斌 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H01L41/29;H01L41/312;H03H3/02;H03H9/205 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 何淑珍;江裕强 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性FBAR滤波器的制造方法。该方法包括：在制备衬底上生长压电薄膜，在压电薄膜上制备底电极并图形化，在电极工作区上方沉积牺牲层材料，制备绝缘支撑层并图形化，得到晶圆；在硬质衬底旋涂临时键合层，将柔性衬底与硬质衬底键合，在复合衬底旋涂胶粘剂，与晶圆进行键合，将制备衬底去除，制备顶电极和电极互连金属；制备柔性保护层，将FBAR滤波器工作区域的保护层去除，形成上空腔，将硬质衬底解键合，得到柔性FBAR滤波器。本发明实现基于单晶AlN以及传统多晶AlN的柔性FBAR滤波器的制备，工艺简单，成本低、易操作，故本发明降低了柔性FBAR滤波器的加工难度和生产成本，提高了柔性器件的制备良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 fbar 滤波器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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