[发明专利]一种大尺寸高纯度石英玻璃的化学沉积工艺有效
| 申请号： | 202010434723.8 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111559860B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 万沂江 | 申请（专利权）人： | 江苏晶隆科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C3/06 | 分类号： | C03C3/06;C23C16/40;C23C16/453 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 刘纯 |
| 地址： | 221400 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种大尺寸高纯度石英玻璃的化学沉积工艺，包括如下步骤：（1）准备：在立式沉积炉内放置靶料，然后以有机硅八甲基环四硅氧烷为原料，经过精馏提纯后进入蒸发器；（2）沉积：所述有机硅八甲基环四硅氧烷蒸气在燃烧器火焰中热水解生成二氧化硅颗粒，并在立式沉积炉中内绕自身纵向轴旋转的靶料靶面上不断层叠沉积，得到石英玻璃坯体，所述石英玻璃坯体熔化生产合成大尺寸高纯度石英玻璃。本发明所述的大尺寸高纯度石英玻璃的化学沉积工艺，方法简单高效，解决了现有技术中石英玻璃化学沉积工艺羟基含量高的缺点，制得的石英玻璃坯体密度均匀性好，结构透气，有利于后续脱除材料中的羟基，从而获得大尺寸、高纯度的石英玻璃，应用前景广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 纯度 石英玻璃 化学 沉积 工艺 | ||
【主权项】：
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