[发明专利]电容器、存储装置、电子装置和金属氮化物膜制造方法在审
| 申请号： | 202010434773.6 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN112768436A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 宋政奎;郑圭镐;金润洙;金海龙;李周浩 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L49/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 弋桂芬 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种电容器、存储装置、电子装置和金属氮化物膜的制造方法，其中该电容器包括：下电极，包括由MM'N表示的金属氮化物；在下电极上的电介质层；界面层，在下电极与电介质层之间并且包括由MM'ON表示的金属硝酸盐；以及在电介质层上的上电极，其中M是金属元素，M'是不同于M的元素，N是氮，O是氧。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 存储 装置 电子 金属 氮化物 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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