[发明专利]一种检测管式PECVD的质量流量计是否正常的方法有效
| 申请号： | 202010435614.8 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111649807B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 张云鹏;王玉;赵科巍;鲁贵林;杨飞飞;秦鹏 | 申请（专利权）人： | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01F25/10 | 分类号： | G01F25/10 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人： | 李富元 |
| 地址： | 046000 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池生产领域，一种检测管式PECVD的质量流量计是否正常的方法，管式PECVD的上的质量流量计为正常流量计时，记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值，记录正常质量流量计量程范围内多个不同流量值一一对应的管式PECVD的炉管压力，记录每个对应的管式PECVD的炉管压力与压力差值，记录压力算术平均值为；进行正常的管式PECVD镀膜工作，记录待检测的质量流量计与步骤一正常质量流量计对应多个值，如果偏差超出正常范围，需要更换新的质量流量计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 pecvd 质量 流量计 是否 正常 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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