[发明专利]一种槽式清洗设备的密封盖及槽式清洗设备有效
| 申请号： | 202010436620.5 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111589781B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 刘东旭;王锐廷 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种槽式清洗设备的密封盖及槽式清洗设备，所述密封盖用于密封所述槽式清洗设备的清洗槽，所述密封盖包括密封盖本体(100)、密封膜(200)和支撑件(300)；所述支撑件(300)设置于所述密封盖本体(100)上，且所述支撑件(300)凸起于所述密封盖本体(100)背离所述清洗槽的一侧，所述密封膜(200)覆盖所述密封盖本体(100)背离所述清洗槽的一侧，且所述支撑件(300)支撑所述密封膜(200)，以使所述密封膜(200)形成导流斜面。上述方案能够解决密封盖积液较多而导致气缸、密封盖容易损坏以及污染液体流入清洗槽的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 设备 密封 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010436620.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
