[发明专利]坩埚结构与坩埚隔绝层的形成方法在审

专利信息
申请号: 202010436695.3 申请日: 2020-05-21
公开(公告)号: CN112122079A 公开(公告)日: 2020-12-25
发明(设计)人: 杨瑜民;林煌伟;王柏凯;许松林;施英汝 申请(专利权)人: 中美硅晶制品股份有限公司
主分类号: B05D1/02 分类号: B05D1/02;C30B35/00
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 朱颖;刘芳
地址: 中国台湾新竹市科*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明提供一种坩埚结构与坩埚隔绝层的形成方法。所述方法包括侧放一圆形坩埚,使圆形坩埚的内部的底面垂直于水平面,再进行数道喷涂工艺,以在圆形坩埚的底面与壁面形成一隔绝层。每一道喷涂工艺包括喷涂一浆料于底面,圆形坩埚的内部具有壁面与底面;将壁面分为数个分区,并使用一光学定位装置在壁面定出与一个分区相同的一喷涂范围;将一个分区对准所述喷涂范围;固定圆形坩埚并喷涂浆料在所述喷涂范围;停止喷涂;旋转圆形坩埚,使另一个分区移至所述喷涂范围内。之后重复上述步骤直到完成所有分区的喷涂。
搜索关键词: 坩埚 结构 隔绝 形成 方法
【主权项】:
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