[发明专利]一种基于薄膜的电容式温度传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 202010438026.X | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN111623899B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 吴进;吴子轩 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01K7/34 | 分类号： | G01K7/34 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 戴涛 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及温度传感器领域，更具体地，涉及一种基于薄膜的电容式温度传感器及其制作方法，包括有配合在一起的绝缘衬底和绝缘覆盖层，所述绝缘衬底和绝缘覆盖层之间设有敏感薄膜、电极。本发明能提高可拉伸传感器的灵敏度、响应速度、适用温度范围并兼具透明性，进而实现极端温度环境测试和人体运动情况实时监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 薄膜 电容 温度传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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