[发明专利]一种黑膜窄带滤光片及其制备方法有效
| 申请号： | 202010440566.1 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN111736250B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 陆张武;王迎;柴建龙;李恭剑;徐征驰 | 申请（专利权）人： | 浙江晶驰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02B5/20;C23C14/06;C23C14/10;C23C14/35 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 张海兵 |
| 地址： | 318001 浙江省台州市椒江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种黑膜窄带滤光片及其制备方法，属于镀膜技术领域。滤光片包括玻璃基底、设于玻璃基底一侧的窄带通膜系、以及设于玻璃基底另一侧的长波通膜系；长波通膜系包括从下往上逐层交替沉积的氢氧化硅/氮氢化硅膜层和氧化硅膜层；窄带通膜系包括从下往上逐层交替沉积的氧化硅膜层和氢氧化硅/氮氢化硅膜层。方法包括：采用磁控溅射方法在玻璃基底一侧沉积上述长波通膜系，并在玻璃基底另一侧沉积上述窄带通膜系。本发明在入射角为0°时，934‑962nm谱段具有高透过率，在350‑901nm谱段、1000‑1100nm谱段截止；入射角为30°时，925‑951nm谱段具有高透过率；同时窄带面在入射角为6°时，反射在400‑700波段平均反射低于5％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 窄带 滤光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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