[发明专利]一种全反式平面光栅衍射效率测试装置及方法在审
| 申请号： | 202010440778.X | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN111537201A | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 谢佳楠;袁立银;何志平;徐睿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全反式平面光栅衍射效率测试装置及方法，特别适用于平面闪耀光栅的衍射效率测量，该装置由单色仪、光阑、抛物面准直镜、光栅转台、后光路转台、后光路支撑板、抛物面聚焦镜、转折镜、单元探测器和控制及数据处理模块组成。单色仪出射不同波长的单色光，通过后光路的旋转对不同波长衍射光进行扫描探测，该装置可用于测量不同波长的单色光经过待测光栅后的衍射效率。本发明为反射式平面闪耀光栅提供了一种高精度、高效率的衍射效率测量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反式 平面 光栅 衍射 效率 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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