[发明专利]一种固状电解液辅助提高激光刻蚀质量的方法及装置

摘要

本发明公开了一种固状电解液辅助提高激光刻蚀质量的方法及装置，涉及特种加工技术中的微细加工领域。本发明利用可透光不导电的透明固状电解液来降低激光刻蚀产生的热影响区。随着固状电解液的逐渐溶解，溶解后液面高度碰到工具阴极时会形成电化学回路，利用电化学反应蚀除加工工件表面的熔渣等杂质，提高加工精度以及表面质量。工件可在低温环境下被加工，未溶解的固状电解液仍然可以循环使用，极大的降低成本。本方法可实现薄板及微小零件，以及形状不规则的柔性材料、脆性材料等无应力固定，能够有效降低加工过程中的应力变形以及激光产生的热影响区，提高加工的精度以及表面质量，可以应用于医疗、电子、航天等微细制造加工领域。