[发明专利]石墨烯基透明柔性导电膜层及其制备方法

摘要

本发明涉及一种石墨烯基透明柔性导电膜层及其制备方法，包括在绝缘衬底表面生长石墨烯底层和在石墨烯底层上沉积柔性透明金属导电薄膜两大步骤。在石墨烯底层的制备中，以中间Ge层作为金属催化层，可以确保在绝缘衬底表面化学气相沉积得到平整、均匀的石墨烯层的同时，还可以在生长完成后进行氧化退火将其去除。在柔性透明金属导电薄膜的制备中，以银和金属氧化物作为合金靶材，通过在银靶中掺杂金属氧化物，改善了银膜的稳定性的同时，还改善了柔性透明金属导电薄膜的抗电涌稳定性，提升了使用寿命，同时还有利于在低厚度下形成连续、均匀的柔性薄膜，保证膜层的透明性，降低原料成本。