[发明专利]一种白光扫描干涉测量蝠翼效应的形貌模拟和补偿方法有效
| 申请号： | 202010443270.5 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN111473742B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 闫英;李萍;周平;赵林杰 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/30;G01B9/02;G06K9/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 王思宇;李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种白光扫描干涉测量蝠翼效应的形貌模拟和补偿方法，包括如下步骤：S1：给定模拟形貌；S2：生成白光扫描干涉仪测量结果的光强信号；S3：利用卷积定理获得新的干涉光强信号；S4：采用峰值提取算法从步骤S3得到的干涉光强信号提取位相并重构干涉仪测量形貌；S5：蝠翼效应的形貌补偿，将步骤S4得到的含有蝠翼效应的模拟形貌利用公式(1)生成模拟干涉光强信号，然后利用反卷积定理得到补偿后的干涉光强信号，对补偿后的干涉光强信号采用峰值提取算法得到补偿后的高度信息，即可得到补偿后的形貌。本发明解决了现有白光扫描干涉测量技术受蝠翼效应误差的影响，限制白光干涉仪的测量精度和准确度的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 白光 扫描 干涉 测量 效应 形貌 模拟 补偿 方法 | ||
【主权项】：
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