[发明专利]一种大尺寸复杂结构滚子轴承套圈内引导面均匀沉积TiN涂层的方法有效
| 申请号： | 202010443388.8 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN111676455B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 马欣新 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/04;C23C14/06;F16C33/62;F16C33/64 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种大尺寸复杂结构滚子轴承套圈内引导面均匀沉积TiN涂层的方法，涉及一种轴承套圈内引导面沉积涂层的方法。目的是解决轴承套圈进行沉积TiN时非引导面的防护不充分、沉积速度低和均匀性差的问题。方法：屏蔽机构对轴承套圈内表面、轴承套圈端面和外表面进行屏蔽，将屏蔽后的轴承套圈安装在倾斜回转机构上；在多弧真空离子镀膜机中安装轴承套圈回转屏蔽系统，将两个多弧靶材安装在轴承套圈回转屏蔽系统两侧，然后依次进行检测漏率、抽真空与预加热、溅射清洗、多弧离子镀TiN和冷却降温。本发明提高了多弧靶的利用率和沉积速率，沉积厚度均匀性得到提高。本发明适用于轴承套圈内引导面沉积TiN涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 复杂 结构 滚子 轴承 圈内 引导 均匀 沉积 tin 涂层 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学，未经哈尔滨工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010443388.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
