[发明专利]一种用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置及检测方法在审
申请号: | 202010447076.4 | 申请日: | 2020-05-25 |
公开(公告)号: | CN111458349A | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 袁振洲;刘欣宇 | 申请(专利权)人: | 江苏超芯星半导体有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 王佳妹 |
地址: | 225000 江苏省扬州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于材料检测技术领域,提供了一种用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置,包括:工作面,其上设有工作台,用于放置待检测的晶体;外罩,呈倒置的U型,其扣盖在所述工作面上并与其形成密闭的空腔;光源,设置于所述密闭的空腔内,用于直射在所述晶体上;图像采集器,设置于所述外罩外部顶端且位于所述晶体的上方;和图像处理设备,设置于所述密闭的空腔外且与所述图像采集器相连接。本申请相比于常用的高分辨透射电镜法、光吸收法和Raman光谱法三种鉴别晶体多型的方法,具有对样品无损检测的优点,也不需要特殊处理,快速判断,且检测装置成本大大降低,在一定的精度要求下,能达到最佳性价比。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 晶体 材料 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
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