[发明专利]一种可阵列环形耦合三轴全解耦微陀螺仪及其加工方法有效
| 申请号： | 202010447258.1 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111595312B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 夏敦柱;李锦辉 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 徐红梅 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可阵列环形耦合三轴全解耦微陀螺仪及其加工方法，微陀螺仪结构形式为四方对称结构，主要包括外环形驱动框架部分、内环型驱动耦合框架部分、敏感检测质量块部分以及相应的耦合折叠梁等。其中，所设计的四方对称结构中四个质量块及内部结构完全一致，每个质量块包含一个驱动传递框架，两个双自由度框架，两个检测框架及对应的耦合折叠梁，四个质量块的驱动传递框架通过外环及内环耦合连接，实现等幅差分驱动；检测框架通过耦合梁实现全解耦功能，从而达到较好的测量性能。加工工艺简单，能够达到较好的检测性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 环形 耦合 三轴全解耦微 陀螺仪 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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