[发明专利]水平度测量方法和直接式成像设备有效
| 申请号： | 202010449731.X | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111694226B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 徐晚晴;李智 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 贾玉姣 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出了一种水平度测量方法和直接式成像设备，该方法包括：控制直接式成像设备的移动平台沿竖直方向移动，并在移动平台的原点位置处聚焦成清晰图像，获取移动平台对应所述原点位置的第一焦面高度值；控制移动平台在与竖直方向垂直的水平面移动至少一个测量位置，并在移动平台的至少一个测量位置处聚焦成清晰图像时，获取移动平台对应每个测量位置的第二焦面高度值；根据第二焦面高度值与第一焦面高度值确定所述移动平台的水平度。本发明的水平度测量方法通过控制移动平台运动，获取移动平台竖直方向移动距离，确定第一焦面高度和第二焦面高度，来实现移动平台水平度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 水平 测量方法 直接 成像 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司，未经合肥芯碁微电子装备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010449731.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：智能硬件云平台
- 下一篇：一种共享电动自行车的充电桩
