[发明专利]一种具有晶圆定位功能的承载台有效
| 申请号： | 202010449934.9 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111805416B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;李伟;费玖海;尹影 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/34;B24B41/00;B24B37/005;B24B49/16;H01L21/68;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种具有晶圆定位功能的承载台，属于半导体技术领域，包括：基板，正面具有用于支撑晶圆的卡台，所述卡台的外围均匀设置有多个晶圆定位柱；所述基板上在所述晶圆定位柱的外侧，还设有用于定位抛光头的抛光头定位柱；所述基板的底面适于通过螺栓与驱动装置连接，所述基板通过所述螺栓适于与所述驱动装置的驱动端之间形成可上下滑动地弹性连接；本发明的具有晶圆定位功能的承载台，晶圆定位精度准确，只需要一套驱动装置，提高晶圆在装卸过程中的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 定位 功能 承载 | ||
【主权项】：
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