[发明专利]一种石英晶振膜厚仪及其镀膜控制方法在审
| 申请号： | 202010452084.8 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN111621764A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 游龙;赵家乐 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英晶振膜厚仪及其镀膜控制方法，包括：探头、恒温模块、膜厚控制仪，蒸发源、挡板和真空罩；其中，恒温模块用于在镀膜开始前，对半导体单元通人电流，使半导体单元释放热量，对探头进行加热；在镀膜过程中，基于实时测量的探头温度，通过控制半导体单元中的电流大小和方向，使半导体单元加热或制冷，使得在镀膜过程中，探头的温度几乎不发生变化，避免了环境温度对振荡频率稳定性的影响，大大提高了膜厚控制仪实时测量的探头振动频率的稳定性，镀膜到指定厚度时，镀膜精度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 晶振膜厚仪 及其 镀膜 控制 方法 | ||
【主权项】：
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