[发明专利]一种压电元件分区极化装置有效
| 申请号： | 202010452732.X | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN111554803B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 王大志;王柱;赵奎鹏;袁玉恒;宗浩然 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | H01L41/257 | 分类号： | H01L41/257 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 李晓亮;潘迅 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电元件分区极化装置，属于具有压电特性材料的极化技术领域。该装置包括分区电压调节模块、探针调节模块和极化控制模块；所述分区电压调节模块可以调节每个分区的极化电压，实现极化分区电场的独立控制；所述探针调节模块采用弹性伸缩探针配合探针定位支架的方法可实现多个百微米级微小电极的精确定位和同步极化；所述极化控制模块可以控制极化所需的总电压和极化温度的时间变化曲线。本发明实现了多分区极化电场的独立控制，能一次性同步极化多分区压电元件，避免了反复多次极化导致压电元件热退极化和分区极化强度不一致的问题；解决了传统方法中的难操作、难定位、极化区域单一等问题，提高了分区压电元件的极化质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 元件 分区 极化 装置 | ||
【主权项】：
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