[发明专利]掩模坯、半色调掩模、制造方法、制造装置在审
| 申请号： | 202010453412.6 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN112015044A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 诸沢成浩;汐崎英治 | 申请（专利权）人： | 爱发科成膜株式会社 |
| 主分类号： | G03F1/32 | 分类号： | G03F1/32 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 朴圣洁;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩模坯、半色调掩模、制造方法、制造装置。本发明的掩模坯具备：透明基板；半色调层，层压在该透明基板的表面上且以Cr为主成分；蚀刻停止层，层压在所述半色调层上；和遮光层，层压在所述蚀刻停止层上且以Cr为主成分，所述半色调层具有：耐化学药品层，位于厚度方向的最表面位置，氧的组成比高于铬的组成比和氮的组成比；和光学特性层，位于厚度方向上贴近所述透明基板的位置，氧的组成比低于铬的组成比和氮的组成比，确保光学特性。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模坯 色调 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
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