[发明专利]使用可光聚合复合物的各向异性蚀刻在审
| 申请号： | 202010456029.6 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN112004327A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 约兰塔·克洛采克 | 申请（专利权）人： | 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 王晖;吴莎 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种在制造部件承载件期间对电传导层结构(102)进行蚀刻的方法，其中，该方法包括以下步骤：通过包括可光硬化复合物的第一蚀刻组合物(106)来对电传导层结构(102)的至少一个暴露区域执行第一蚀刻，从而在电传导层结构(102)中形成凹部(108)，通过用光子选择性地在凹部的上侧壁部分(110)上辐照来使可光硬化复合物硬化，从而用经光硬化的复合物(116)来覆盖上侧壁部分(110)，通过第二蚀刻组合物(118)选择性地在凹部(108)的未被经光硬化的复合物(116)覆盖的侧壁部分(112)和/或底部部分(114)上执行第二蚀刻，以及随后将经光硬化的复合物(116)从侧壁部分(110)移除。另外，提供了部件承载件。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 聚合 复合物 各向异性 蚀刻 | ||
【主权项】：
暂无信息
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