[发明专利]一种多波段氧化镓基紫外光电探测器阵列的制备方法

摘要

本发明提供一种多波段氧化镓基紫外光电探测器阵列的制备方法，首先利用磁控溅射在叉指电极上沉积氧化镓薄膜，通过控制溅射功率、气体压强和气体配比等参数或引入半导体杂质，调控氧化镓薄膜的氧空位和杂质缺陷浓度，实现不同波段紫外光响应的氧化镓光电探测器单元的制备。其次，将制备的氧化镓光电探测器单元，置入气氛炉中进行退火处理，实现对氧化镓光电探测器单元紫外截止波长的调整。最后，将不同波段的氧化镓紫外光电探测器单元组装成探测器阵列，各个光电探测器单元在电学上相互独立。本发明制备的氧化镓紫外光电探测器阵列具有光谱选择性强、响应波段范围宽和稳定性高等优点。