[发明专利]磁性件、镀膜夹具和磁性件的制造方法在审
| 申请号： | 202010460650.X | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN111614336A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 辜批林;李庆跃;骆红莉;郭雄伟;黄文俊;林土全 | 申请（专利权）人： | 东晶电子金华有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 汪海屏;王淑梅 |
| 地址： | 321000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种磁性件、镀膜夹具和磁性件的制造方法，磁性件用于镀膜夹具，磁性件包括：基体和纳米陶瓷涂层，纳米陶瓷涂层包覆于基体上。本发明所提供的磁性件，在基体表面涂布有纳米陶瓷涂层，纳米陶瓷涂层与清洗液不会发生化学反应，避免纳米陶瓷涂层被腐蚀，进而避免磁性件生锈；并且由于避免磁性件生锈，在镀膜夹具进入到清洗液后，不再有锈蚀物在超声波的作用下进入到清洗液中，进而避免因涂层被腐蚀而污染清洗液，减小了石英晶片被二次污染的可能性，使得石英晶片获得更好的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 镀膜 夹具 制造 方法 | ||
【主权项】：
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