[发明专利]单片集成日盲紫外及近红外双色光电探测器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种单片集成日盲紫外及近红外双色光电探测器，由下至上依次包括AlN模板、AlGaN/AlN超晶格层、AlGaN过渡层、n型AlGaN层、导电氧化物纳米天线及金属叉指电极；所述金属叉指电极包括交叉设置的第一叉指电极及第二叉指电极；所述导电氧化物纳米天线设置于所述第一叉指电极的内部。本发明在不影响日盲紫外光探测的基础上，具有近红外光电转换效率高，灵敏度高的特点，而且器件结构简单，探测波长可调谐性好。本发明同时还提供了一种具有上述有益效果的单片集成日盲紫外及近红外双色光电探测器的制作方法。