[发明专利]数据处理方法、图案检测方法及晶圆缺陷图案检测方法在审
| 申请号： | 202010461967.5 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN112102226A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 周民植;朴省美;郑智寅;金在勋;朱耿嬉;朴穫根;李栢永 | 申请（专利权）人： | 三星SDS株式会社 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08;G06T5/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;宋东颖 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种既可以对新产生的图案进行聚类，又耐噪声，且无需对学习数据进行标记的基于无监督学习的数据处理方法、图案检测方法及晶圆缺陷图案检测方法。根据本发明的多个实施例，利用3D层叠型空间自相关来准确去除噪声，并使用多变量空间概率分布值和极坐标系空间概率分布值作为用于生成聚类模型的学习特征，从而耐于噪声、旋转及细微的特殊形状。并且，作为聚类的结果而计算出的集群可以多级分类的方式分类为层次集群，并且，可以在没有标号的情况下仅利用测定数据来进行正常/缺陷集群的概率性自动评价。 | ||
| 搜索关键词： | 数据处理 方法 图案 检测 缺陷 | ||
【主权项】：
暂无信息
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