[发明专利]一种高谐振频率的大孔径振镜及制备方法在审
| 申请号： | 202010466898.7 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN111573614A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 左辉;贺思源 | 申请（专利权）人： | 贺思源;左辉 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;B81B7/02;B81C1/00;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 林聪源 |
| 地址： | 加拿大安大略*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高谐振频率的大孔径振镜及制备方法，包括：FPCB、粘贴在FPCB正面的硅层以及设置在FPCB两侧的外部磁铁；FPCB包括中间座、聚酰亚胺扭转梁和外部的聚酰亚胺加强框，中间座的正面和背面设有铜线圈；制备方法包括：将硅晶片的金属镀层侧朝下，附着在承载晶片；将FPCB的正面朝下，粘贴在硅晶片的非金属镀层侧；以FPCB为掩膜、金属镀层为停止层，一步蚀刻硅晶片，得到高谐振频率的大孔径振镜。本发明简单的制造过程和0.1毫米分辨率的FPCB光刻技术导致成本非常低致几美元；嵌入FPCB结构中的铜线圈在大孔径镜板的背面，会产生大的驱动力，考虑到大孔径和高厚度而获得相对较高的谐振频率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 频率 孔径 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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