[发明专利]MEMS陀螺仪驱动幅度校正装置及方法有效

专利信息
申请号: 202010468223.6 申请日: 2020-05-28
公开(公告)号: CN111780735B 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 邹波;刘彬 申请(专利权)人: 深迪半导体(绍兴)有限公司
主分类号: G01C19/56 分类号: G01C19/56;G01C25/00;G05D19/02
代理公司: 上海剑秋知识产权代理有限公司 31382 代理人: 杨飞
地址: 312030 浙江省绍兴市柯桥区柯桥*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种MEMS陀螺仪驱动幅度校正装置及方法,所述校正装置包括C/V转换器,所述C/V转换器的输入端与所述MEMS陀螺仪的驱动检测端相连接;测量模块,所述测量模块用于输出其输入端电信号的频率表示信号、幅度表示信号和相位表示信号,所述测量模块的输入端与所述C/V转换器的输出端相连接;校正模块,所述校正模块用于接收所述幅度表示信号和所述频率表示信号,并根据所述幅度表示信号和所述频率表示信号输出经校正的幅度表示信号;输出模块,所述校正模块用于接收所述相位表示信号和所述经校正的幅度表示信号,并根据所述相位表示信号和所述经校正的幅度表示信号输出驱动信号,所述输出模块的输出端与所述MEMS陀螺仪的驱动输入端相连接。
搜索关键词: mems 陀螺仪 驱动 幅度 校正 装置 方法
【主权项】:
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