[发明专利]电镀化学品监控方法、系统和装置在审
| 申请号： | 202010468679.2 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN111663172A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 张吉钦;王涛 | 申请（专利权）人： | 甬矽电子(宁波)股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12;C25D21/14;C25D17/00;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 徐彦圣 |
| 地址： | 315400 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种电镀化学品监控方法、系统和装置，涉及半导体化学品监控技术领域。通过浓度监控装置和液位探测装置实时监控电镀化学品的浓度数据以及剩余量，使得处理装置可基于监控得到的浓度数据以及剩余量计算得到电镀化学品的目标添加量，并控制调节装置将储液槽中的原液添加至电镀化学品中，且通过流量监控装置监控储液槽中的原液的添加量，并在原液添加量达到目标添加量时，发送信号至处理装置，以使处理装置根据信号控制调节装置停止将储液槽中的原液添加至电镀化学品中，如此，便可实时监控电镀化学品的浓度数据，并根据电镀化学品的浓度变化自动进行添加，效率高，且准确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 化学品 监控 方法 系统 装置 | ||
【主权项】：
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