[发明专利]液滴驱动器件的制备方法在审
| 申请号： | 202010470648.0 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN112007703A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 刘立滨;许诺;臧金良;张涵;李平 | 申请（专利权）人： | 北京机械设备研究所 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 北京云科知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11483 | 代理人： | 张飙 |
| 地址： | 100854 北京市海淀区永*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请揭示了一种液滴驱动器件的制备方法，包括：在衬底上制备互连金属层，互连金属层包括间隔排布的行向金属条和列向金属条；在互连金属层上制备绝缘层；在行向金属条和列向金属条上形成接触孔；在绝缘层上制备导电金属层，导电金属层包括阵列电极，每个行向金属条通过接触孔连接所在行中对应的电极，每个列向金属条通过接触孔连接所在列中对应的电极，使得同一行中的行向金属条所连接的电极均电连于同一条行向引线，同一列中的列向金属条所连接的电极均电连于同一条列向引线。本申请通过设置阵列化电极，并使多个电极复用引线，能够大幅度降低阵列化驱动电极的引线数量、系统复杂程度和工艺制作难度，进而降低成本、降低控制复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
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