[发明专利]一种基于管状SnO2

摘要

本发明属于半导体氧化物气体传感器技术领域，公开了一种基于管状SnO2阵列的丙酮气体传感器及制备方法，利用模板原位牺牲法制的具有介孔的管状SnO2材料；利用管状阵列独特的空心结构以及一维阵列的高度取向性性，有效地提高了传感器对CH3COCH3的敏感特性。本发明所采用的传感器结构是带有2个环形金电极的Al2O3绝缘陶瓷管、直接生长在电极和Al2O3绝缘陶瓷管表面的半导体敏感材料、以及穿过Al2O3绝缘陶瓷管的镍合金加热线圈组成。相较于传统涂覆工艺，此器件工艺简单，体积小，因而在检测环境中的CH3COCH3含量方面有广阔的应用并适合大规模生产。