[发明专利]一种超滑滑块的制备方法有效
| 申请号： | 202010473597.7 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN111717881B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 郑泉水;瞿苍宇 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 满群 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种通过改进加载方式避免超滑滑块屈曲失稳及结构破坏的超滑滑块的制备方法，包括通过聚焦离子束刻蚀等方法，在探针尖端刻蚀出一个平台，用该平台与超滑滑块接触，并将加载方式改为使用探针从顶部接触超滑滑块，施加正压力和剪切力，从而推动滑块。本发明提出的方法简单便捷，可避免在超滑滑块较大时，滑块在探针推动下发生屈曲失稳从而收到破坏的问题。同时，本发明提出的方法能提高批量生产超滑滑块的成品率，并且具有广泛适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超滑滑块 制备 方法 | ||
【主权项】：
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