[发明专利]基板加工装置在审
| 申请号： | 202010475185.7 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN112045518A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 冈本典彦 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B27/00;B24B51/00;B24B49/00;B24B57/02;B24B41/06;B24B41/02;B24B41/047 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板加工装置。提供一种能够使基板加工装置的维护作业简易化的技术。基板加工装置包括：旋转盘，其以对基板进行加工的工具能够更换的方式安装该工具；主轴电动机，其使所述旋转盘旋转；升降机构，其借助所述主轴电动机使所述旋转盘升降；面板，其具有供所述旋转盘插入的插入口；以及第1盖，其载置于所述面板，并覆盖所述插入口的至少局部，在所述旋转盘于比基准位置靠下方的位置升降的过程中，所述第1盖载置于所述面板，在所述旋转盘上升到超过所述基准位置时，所述第1盖与所述旋转盘一起上升并自所述面板离开。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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