[发明专利]检测装置及检测方法在审

专利信息
申请号: 202010475420.0 申请日: 2020-05-29
公开(公告)号: CN111812428A 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 王松 申请(专利权)人: 欧菲微电子技术有限公司
主分类号: G01R31/00 分类号: G01R31/00;G01M11/08
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 汪飞亚
地址: 330096 江西省南昌市南昌*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明提出一种检测装置,用于检测工件,所述工件具有检测部,所述检测部包括至少一个第一检测区域和至少一个第二检测区域,所述检测装置包括:第一感应机构,用于对所述第一检测区域施加预设压力,并检测所述第一检测区域受所述预设压力后的形变量;第二感应机构,用于检测所述第一检测区域受所述预设压力后所述第二检测区域的振幅;承载件,所述第一感应机构和所述第二感应机构均与所述承载件相连,所述承载件与所述工件可相对移动,以使所述第一感应机构对应于任一所述第一检测区域、所述第二感应机构对应于任一所述第二检测区域。本发明同时提供一种检测方法。
搜索关键词: 检测 装置 方法
【主权项】:
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