[发明专利]一种原子力显微镜用热波跳变控制激励的原位表征纳米尺度热导率的装置

摘要

本申请公开了一种原子力显微镜用热波跳变控制激励的原位表征纳米尺度热导率的装置，用于实现样品材料纳米尺度微区热导率的超高分辨原位检测，包括：原子力显微镜热波激励模块，热波跳变控制模块，纳米尺度微区热导率原位检测模块，实现所述样品材料纳米尺度热波信号跳变的原位检测，根据所述热探针与所述样品材料的接触过程中所述热探针三倍频跳变信号ΔU3ω与所述样品材料微区热导λs之间关系，定量表征所述样品材料纳米尺度微区热导λs的所述纳米尺度微区热导率。本申请为样品材料有关与热学相关的物理功能响应深入研究以及有关纳米器件的物性评价提供一种原理简单、测试直接的原位纳米表征技术。