[发明专利]一种微压传感器芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 202010476549.3 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN111521304B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 王鸿雁;赵立波;吴永顺;魏于昆;山涛;皇咪咪;徐廷中;陈翠兰;李学琛;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 陕西省计量科学研究院;西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;G01L9/02;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 朱海临 |
| 地址： | 710065 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微压传感器芯片及其制备方法，传感器芯片主要构成包括应力膜、基底、压阻条、金属引线、防过载保护组件等。具体结构为在芯片结构基底上制作具有应力调节槽和应力集中槽的应力膜。应力膜边缘均匀分布四条应力集中槽，四个压敏电阻条布置在相邻两条应力集中槽端部之间，金属引线将压敏电阻条连接成半开环惠斯通电桥。芯片背腔的十字支撑梁和凸块两者之间的间隙进一步提高压敏电阻条处的应力集中效果；主要制备流程包括：对经清洗后的SOI硅片制作压敏电阻条，再采用P型重掺杂制作欧姆接触区，然后制作金属引线和焊盘，再干法刻蚀应力集中槽和应力调节槽，接着制作芯片的背腔结构，最后将制作的芯片结构基底与防过载玻璃进行键合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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