[发明专利]一种椭球反射镜位置调整装置及调整方法有效
| 申请号： | 202010476554.4 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN113741043B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 刘风秀 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种椭球反射镜位置调整装置及调整方法，椭球反射镜位置调整装置包括：内调焦望远镜、受光屏、光源、光源标定版、灯室位置标定版、灯室基准固定板和五维调整机构；灯室基准固定板位于光学平台上，灯室位置标定版固定在灯室基准固定板上；五维调整机构位于灯室位置标定版上侧；光源标定版位于五维调整机构上侧；受光屏位于光源上侧；内调焦望远镜将光源、灯室位置标定版的标记中心和受光屏的标记中心调整至同一光轴；五维调整机构对椭球反射镜进行调节，使得光源位于椭球反射镜的实际第一焦点处，且受光屏的标记中心位于椭球反射镜的实际第二焦点处。本发明提供的技术方案，以解决椭球反射镜的位置调整精度低、调整复杂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 椭球 反射 位置 调整 装置 方法 | ||
【主权项】：
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