[发明专利]一种光伏组件、太阳能电池及其制备方法

摘要

本申请提供了一种光伏组件、太阳能电池及其制备方法。该太阳能电池包括硅衬底以及配置于所述硅衬底背面的钝化膜叠层，所述钝化膜叠层包括：位于所述硅衬底背面的第一钝化层，所述第一钝化层由硅原子浓度在5×1021/cm3‑2.5×1022/cm3之间的富硅层组成；位于所述第一钝化层表面的第二钝化层，所述第二钝化层由富氧富氮层组成；位于所述第二钝化层表面的第三钝化层，所述第三钝化层由折射率渐变的至少一层氮化硅膜组成；其中，所述第一钝化层的第一折射率大于所述第二钝化层的第二折射率且小于所述第三钝化层的第三折射率。通过制备所述钝化膜叠层可以有效增强电池背钝化特性，减缓光伏组件的PID衰减以及降低生产成本。