[发明专利]一种新型柔性力敏传感器及其制备方法有效
申请号: | 202010478261.X | 申请日: | 2020-05-29 |
公开(公告)号: | CN111693189B | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 刘启发;倪永康;徐婧;郭娅杰;赵洁 | 申请(专利权)人: | 南京邮电大学 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 210012 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型柔性力敏传感器及其制备方法,本发明包括柔性材料、其上的微结构电极阵列区和宏观结构电极、与微结构电极阵列区结合的微纳碳材料所组成。本发明结合了柔性材料、微阵列电极结构和微纳碳材料,基于压阻原理实现了简便、低成本、高灵敏度、多维度感应的力学信号传感。微阵列电极制作于柔性材料表面,同时微纳碳材料和微阵列电极复合形成传感区。制备方法采用传统的微纳加工工艺实现。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 柔性 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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