[发明专利]一种微电子机械系统传感器的大规模生产方法有效
| 申请号： | 202010481323.2 | 申请日： | 2015-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN111609870B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 易舸;万渡江 | 申请（专利权）人： | 万渡江;易舸 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01D5/24;A61B5/11 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 覃永峰 |
| 地址： | 541002 广西壮族自治区桂林*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微电子机械系统传感器的大规模生产方法，包括整平衬底；利用电镀或物理气相沉积制备具有垂直磁各向异性的底部硬磁体；用蚀刻法清除可蚀刻材料而制备中空管的，以容纳含硬磁材料的悬浮体；在临时可蚀刻材料中制备具有垂直磁各向异性的含硬磁材料的悬浮体，其硬磁材料有与底部硬磁体不一样的磁矫顽力；悬浮体通过蚀刻去除临时可蚀刻材料而释放于中空管中；在中空管外制备感应器；利用均匀外磁场对传感器的每个关键磁性部件进行磁化，以获取设计期望的磁化方向；切割所述衬底以获得单个所述的传感器。本发明给出了利用半导体晶圆工艺与微电子机械系统(MEMS)技术相结合，大规模低成本生产这种类型传感器的制造方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微电子 机械 系统 传感器 大规模 生产 方法 | ||
【主权项】：
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