[发明专利]基于预电离点火装置的大气压射频热等离子体发生器有效

专利信息
申请号: 202010484393.3 申请日: 2020-06-01
公开(公告)号: CN111479376B 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 周秋娇;陆星铭;张永亮;江敏;黄逸凡 申请(专利权)人: 深圳先进技术研究院
主分类号: H05H1/46 分类号: H05H1/46;H05H1/24
代理公司: 北京市诚辉律师事务所 11430 代理人: 耿慧敏
地址: 518055 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种基于预电离点火装置的大气压射频热等离子体发生器。该发生器是大气压射频感应耦合等离子体发生器,包括:预电离点火装置和感应耦合等离子体炬管,其中,所述感应耦合等离子体炬管包括内管、中间管、外管和环绕于所述外管的金属线圈;所述预电离点火装置用于为热等离子体提供种子电子,其是由置于所述内管中与内管同轴的绝缘介质层包裹着的正电极和环绕所述内管的接地极所构成的双介质阻挡放电结构。本发明通过在发生器的内部增加预电离点火装置,为大气压射频热等离子体的击穿点火问题提供了方便、实用的技术方案,并且增大了等离子体体积,实现了对进料的预处理。
搜索关键词: 基于 电离 点火装置 大气压 射频 等离子体 发生器
【主权项】:
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