[发明专利]一种短脉冲曝光装置及方法在审
| 申请号： | 202010484508.9 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN111505033A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 默广;周爱玉;吴忠华;邢雪青;李志宏;姚磊;陈中军;郑黎荣;施展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/201 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 丁瑞瑞 |
| 地址： | 100043 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种短脉冲曝光装置及方法，所述装置包括第一快门机构、第二快门机构、主控制器、光电二极管以及探测器，第一快门机构的信号输入接口与主控制器的第一I/O口连接，第二快门机构的信号输入接口与主控制器的第二I/O口连接；第一快门机构、第二快门机构以及样品依次间隔平行布置，样品正对所述第一快门机构和第二快门机构的中心；光电二极管与样品平行且有间距，光电二极管与主控制器的第三I/O口连接，探测器的控制信号输入端口与主控制器的第三I/O口连接；射线垂直于第一快门机构且从第一快门机构中心入射；本发明的优点在于：能够实现短于单快门最短允许开启时间的脉冲曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 曝光 装置 方法 | ||
【主权项】：
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